多层陶瓷压电执行器
技术注释
其他内容
TDK产品特性
TDK的多层压电执行器产品组合再添新锐成员——高效叠层 (HAS) 产品系列。新系列产品采用TDK获得专利的基于铜刻蚀工艺的开拓性技术,具有出色的性能,更长的使用寿命和更好的抗湿性。HAS是TDK长年服务于汽车工业燃油喷射领域的丰富经验和专长的结晶。HAS产品系列的推出是TDK在改进和推进多层压电执行器技术方面取得的重要里程碑之一。HAS广泛适用于机电一体化领域的各种应用,比如用于纳米定位技术(如显微镜)、半导体制造和生产工艺中的点胶阀,以及焊线机等高端解决方案中。
比之基于银钯 (AgPd) 的压电执行器,HAS具有以下特点,成为诸多应用的理想之选。
・采用铜内电极取代钯,高性价比。
・最大限度减少了非活动区域(100 µm宽),提高了20%的应变或位移量。
・更好的抗湿性能(无银迁移),非常适合潮湿工况应用。
・无铅高熔点金属外部焊接,可确保高温条件下运行不会出现脆化或接触损失。
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